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台灣半導體製造公司執行長表示，台積電在次世代晶片製造上並未落後。
台積電已購買ASML先進的High-NA EUV機台，但尚未開始量產。
重點
- 台積電優先考量成本效益，才會將High-NA EUV機台投入日常製造。
- 執行長魏哲家拒絕透露台積電購買High-NA EUV機台的數量。
- 台積電認為部分目標仍可用標準EUV工具達成，暫時避免立即採用High-NA。
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